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橢圓偏振測厚儀使用案例

更新時間:2022-10-21點擊次數(shù):682

橢圓偏振測厚儀使用案例

橢圓偏振測厚儀 型號:TPY-1

儀器介紹

TPY-1橢圓偏振測厚儀采用消光法手動調(diào)節(jié),自動測量薄膜厚度和折射率,精度高、靈敏度高、方便測量。光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定、波長精度高。儀器軟件具有生成表、查表以及精確計算等功能,方便用戶使用。

規(guī)格參數(shù)

測量范圍薄膜厚度范圍:1nm-300nm;折射率范圍:1-10

測量厚度小示值(nm)≤1

偏振器方位角范圍0°- 180°讀取分辨率為0.05°

測量膜厚精度(nm)±1

折射率重復(fù)性精度±0.01

入射角調(diào)節(jié)范圍20°~90°精度為0.05°

入射光波長(nm)632.8

光學(xué)中心高(mm)80

允許樣品尺寸(mm)φ10-φ140,厚度≤15

外形尺寸(mm)590*390*290

主機重量(kg)25


配置表



型號
名稱
數(shù)量
基本配置
TPY-1
橢圓偏振測厚儀主機
1臺
TPY-1
主機電控箱
1套

二氧化硅膜樣片
1片
TPY-1
橢圓偏振測厚儀專用軟件
1套
需另配
計算機及打印機
1套